CNR Institutional Research Information System

Modulation of R.F. plasmas in the deposition of silicon based alloys: plasma diagnostics and material characterization

G Cicala;
1991
1991
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Proceedings of XX International Conference on Phenomena in Ionized Gases, (ICPIG-XX)
XX International Conference on Phenomena in Ionized Gases
311
312
2
0 9511848 0 6
Sì, ma tipo non specificato
8th-12th July 1991
Il Ciocco (Pisa)
1
none
G. Cicala; P. Capezzuto; P. Manodoro; G. Bruno
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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