Deposition of Photoluminescent Nanocrystalline Silicon Films by SiF4-SiH4-H2 Plasmas

G Cicala;
1996

1996
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstracts Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)
Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)
p. 426 Q22.6
Sì, ma tipo non specificato
Dicembre 1996
Boston (USA)
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
L. Schiavulli; G. Cicala; G. Bruno; P. Capezzuto; V. Capozzi;G. Perna
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/122221
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact