GC-MS investigation of hexamethyldisiloxane-oxygen fed plasmas

F Fracassi;R d'Agostino;F Fanelli;F Palumbo
2003

2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
8
259
269
5
info:eu-repo/semantics/article
262
Fracassi, F; D'Agostino, R; Fanelli, F; Fornelli, A; Palumbo, F
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
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