CNR Institutional Research Information System

Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon.

S Scalese;V Privitera;M Italia;A La Magna;P Alippi;
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
SILICON FRONT-END JUNCTION FORMATION-PHYSICS AND TECHNOLOGY
Symposium on Silicon Front-End Junction Formation-Physics and Technology held at the 2004 MRS Spring Meeting
13-15 Aprile 2004
S. Francisco (USA)
2-s2.0-5544226419
5
none
S. Scalese; V. Privitera; M. Italia; A. La Magna; P. Alippi; L. Renna
273
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04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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