CNR Institutional Research Information System

Boron-Interstitial cluster kinetics: extraction of binding energies from dedicated experiments

G Mannino;S Scalese;V Privitera;S Solmi;
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
SILICON FRONT-END JUNCTION FORMATION-PHYSICS AND TECHNOLOGY
Symposium on Silicon Front-End Junction Formation-Physics and Technology held at the 2004 MRS Spring Meeting
810
13-15 Aprile 2004
S. Francisco (USA)
2-s2.0-5544226420
8
none
Ortiz, Cj; Pichler, P; Haublein, V; Mannino, G; Scalese, S; Privitera, V; Solmi, S; Lerch, W
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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