CNR Institutional Research Information System

Fabrication of capacitive ultrasonic transducers by a low temperature and fully surface-micromachined process

2002
2002
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
26
347
354
0
info:eu-repo/semantics/article
262
Cianci E.; Foglietti V.; Memmi D.; Caliano G.; Caronti A.; Pappalardo M.
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none
01.01 Articolo in rivista
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