CNR Institutional Research Information System

High Resolution Depth Profile Analysis of Ultra Thin High-º Hf Based Films Using MEIS Compared with XTEM, XRF, SE and XPS

Parisini A;
2009
2009
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
25
349
361
2-s2.0-77649205841
Sì, ma tipo non specificato
1
info:eu-repo/semantics/article
262
van den Berg J. A.; Reading M A; Parisini A.; Kolbe M.; Beckhoff B.; Ladas S.; Fried M.; Petrik P.; Bailey P.; Noakes T.; Conard T. ;De Gendt S....espandi
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none
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