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Effect of He Dilution on the Growth Kinetics of SiH4-H2 Plasmas: Structural Studies on mc-Si by Micro-Raman, X-ray diffraction and Spectroscopic Ellipsometry

G Bruno;M Losurdo;MM Giangregorio;
2005
2005
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Photovoltaics
Sì, ma tipo non specificato
Barcellona, Spain
3
none
G. Bruno; M. Losurdo; M.M. Giangregorio; A.Sacchetti; P.Capezzuto; F.Giorgis
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/53822
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