VANGELISTA, SILVIA
VANGELISTA, SILVIA
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM - Sede Secondaria Agrate Brianza
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Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Low-temperature atomic layer deposition of MgO thin films on Si | 1-gen-2013 | Vangelista, S; Mantovan, R; Lamperti, A; Tallarida, G; Kutrzebakotowska, B; Spiga, S; Fanciulli, M |