MANCUSO, ALFIO SAMUELE

MANCUSO, ALFIO SAMUELE  

Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM  

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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Hydrogen Etching Process of 4H-SiC (0001) in Limited Regions 1-gen-2024 Mancuso, A.; Boninelli, S.; Camarda, M.; Fiorenza, P.; Mio, A.; Scuderi, V.; Godignon, P.; Aslanidou, S.; Calcagno, L.; Via, F. L.