DI FABRIZIO, ENZO MARIO
DI FABRIZIO, ENZO MARIO
INFM (attivo dal 18/11/1923 al 31/12/2021)
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Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Fabrication of 3D micro and nanostructures for MEMS and MOEMS: an approach based on combined lithographies. | 1-gen-2006 | Romanato, F; Businaro, L; Tormen, M; Perennes, F; Matteucci, M; Marmiroli, B; Balslev, S; Di Fabrizio, E |