Viene trattata la realizzazione di una cella di effusione a basso costo a singolo filamento da usare per la realizzazione di film sottili in sistemi da vuoto e da ultra alto vuoto. L'elemento riscaldante ha una forma e delle caratteristiche tali da indurre un gradiente di temperatura lungo l'asse del crogiolo della cella, per produrre un flusso uniforme di molecole con una buona stabilita' nel tempo e superare problemi di ricondensazione e la formazione di aggregati molecolari sull'orifizio di uscita, che ricadono nel materiale da evaporare.
Realizzazione di una cella di effusione a gradiente di temperatura a singolo filamento
mauro murgia
2000
Abstract
Viene trattata la realizzazione di una cella di effusione a basso costo a singolo filamento da usare per la realizzazione di film sottili in sistemi da vuoto e da ultra alto vuoto. L'elemento riscaldante ha una forma e delle caratteristiche tali da indurre un gradiente di temperatura lungo l'asse del crogiolo della cella, per produrre un flusso uniforme di molecole con una buona stabilita' nel tempo e superare problemi di ricondensazione e la formazione di aggregati molecolari sull'orifizio di uscita, che ricadono nel materiale da evaporare.File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
