CNR Institutional Research Information System

Procedimento per la realizzazione di elettrodi di contatto per dispositivi elettronici, in particolare per la realizzazione di elettrodi di gate per transistor ad effetto di campo

Mariucci L;Fortunato G
2003
2003
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
Processi litografici
disposit.a can.corto
disp. per microonde
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