CNR Institutional Research Information System

A surface micromachining process for manufacturing electro-acoustic transducers, particularly ultrasonic transducers, obtained transducers and intermediate products

2002
2002
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
microsistemi
trasduttori
ultrasuoni
microelettronica
nitruro di silicio
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/131255
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