CNR Institutional Research Information System

A surface micromachining process for manufacturing electro-acoustic transducers, particularly ultrasonic transducers, obtained transducers and intermediate products

2002
2002
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
microsistemi
trasduttori
ultrasuoni
microelettronica
nitruro di silicio
Un importante caratteristica di questo prodotto risiede nel fatto che i trasduttori hanno una banda molto larga, cioè una risposta in frequenza molto ampia, possono quindi essere utilizzati come sonda universale che copre varie applicazioni. Un altro vantaggio risiede nell' utilizzo del silicio come materiale di supporto del sensore. Questo vuol dire poter integrare con il sensore anche parte o tutto il circuito elettronico di accoppiamento tra la sonda ed il computer che analizza i dati. Questo significa poter ridurre moltissimo la complessita del cablaggio. Per quanto riguarda le tecniche di ecografia tridimensionale dove il numero di canali deve essere molto elevato per non compromettere la risoluzione dell' immagine queste sonde sono ideali ed estremamente vantaggiose sia in termini di risoluzione che economici.
0
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
Foglietti V. ; Memmi D. ; Cianci E. ; Caliano G. ; Pappalardo M.
info:eu-repo/semantics/patent
285
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/131255
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