CNR Institutional Research Information System

Surface micromechanical process for manufacturing micromachined capacitive ultra-acoustic transducers and relevant micromachined capacitive ultra-acoustic transducer

E Cianci;
2006
2006
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
2
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
G. Caliano; A. Caronti; E. Cianci; V. Foglietti; A. Minotti; A. Nencioni; M. Pappalardo
info:eu-repo/semantics/patent
285
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