CNR Institutional Research Information System

Process for manufacturing a TFT device with source and drain regions having gradual dopant profile

Fortunato G;Mariucci L;Cuscuna M
2010
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
3
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
Leonardi S; Coffa S; Caligiore C; Fortunato G; Mariucci L; Cuscuna M
info:eu-repo/semantics/patent
285
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/142285
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact