CNR Institutional Research Information System

Method and apparatus for producing thin films on a substrate via pulsed electron deposition process

Mazzer Massimo;Gilioli Edmondo;Ferrari Claudio;Bissoli Francesco;Rampino Stefano;Pattini Francesco
2010
2010
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
Inglese
http://www.wipo.int/patentscope/search/en/detailPdf.jsf?ia=IB2009007528&docIdPdf=id00000010738362&name=(WO2010058281)METHOD%20AND%20APPARATUS%20FOR%20PRODUCING%20THIN%20FILMS%20ON%20A%20SUBSTRATE%20VIA%20A%20PULSED-%20ELECTRON%20DEPOSITION%20PROCESS&woNum=WO2010058281&prevRecNum=1&nextRecNum=2&recNum=1&queryString=ALLNUM%3A%28WO2010058281%29&office=&sortOption=&prevFilter=&maxRec=1
6
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
Mazzer, Massimo ; Gilioli, Edmondo ; Ferrari, Claudio ; Bissoli, Francesco ; Rampino, Stefano ; Pattini, Francesco
info:eu-repo/semantics/patent
285
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/144463
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