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CARBURO DI SILICIO SU SILICIO PER DISPOSITIVI MICRO-ELETTRO-MECCANICI OPERANTI IN AMBIENTE OSTILE - Rapporto dell'U.O. CNR ISTM di Padova - Caratterizzazione composizionale e morfologica di strati epitassiali e policristallini di SiC

Armelao L
2003
2003
Istituto di Scienze e Tecnologie Molecolari - ISTM - Sede Milano
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