CNR Institutional Research Information System

Method for fabricating masters for imprint lithography and related imprint process

M De Vittorio;D Pisignano;MT Todaro;G Gigli
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
INFM
Inglese
6
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
DE VITTORIO, Massimo; Bernardi, S; Pisignano, D; Todaro, Mt; Cingolani, R; Gigli, G
info:eu-repo/semantics/patent
285
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/15867
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