Pacchetto software per la determinazione del tensore di deformazione in silicio monocristallino, sulla base di spettri di diffrazione elettronica a fascio convergente, ottenuti al microscopio elettronico in trasmissione (TEM) su nanoaree (1 nm) del campione. Le componenti del tensore sono ottenute dal confronto fra lo spettro sperimentale, costituito da sottili righe di diffrazione (la cui posizione è sensibile alla deformazione locale) e una serie di spettri analoghi calcolati per diverse celle reticolari del silicio. Il prodotto viene impiegato soprattutto per ottenere informazioni sulla deformazione nelle regioni attive di dispositivi assottigliati in sezione per l'analisi al TEM.
Software CBED
Balboni R
2002
Abstract
Pacchetto software per la determinazione del tensore di deformazione in silicio monocristallino, sulla base di spettri di diffrazione elettronica a fascio convergente, ottenuti al microscopio elettronico in trasmissione (TEM) su nanoaree (1 nm) del campione. Le componenti del tensore sono ottenute dal confronto fra lo spettro sperimentale, costituito da sottili righe di diffrazione (la cui posizione è sensibile alla deformazione locale) e una serie di spettri analoghi calcolati per diverse celle reticolari del silicio. Il prodotto viene impiegato soprattutto per ottenere informazioni sulla deformazione nelle regioni attive di dispositivi assottigliati in sezione per l'analisi al TEM.I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
