È stato realizzato un prototipo di sensore fotoacustico per CO2 basato sull'utilizzo di celle microlavorate in pyrex/silicio (ottenute con bonding anodico) ed emettitori MEMS in tecnologia SOI. Il sistema permette il sensing selettivo di CO2 ed è adatto al monitoraggio della qualità dell'aria in interni.
Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI
Cardinali GC;Roncaglia A;Mancarella F;
2006
Abstract
È stato realizzato un prototipo di sensore fotoacustico per CO2 basato sull'utilizzo di celle microlavorate in pyrex/silicio (ottenute con bonding anodico) ed emettitori MEMS in tecnologia SOI. Il sistema permette il sensing selettivo di CO2 ed è adatto al monitoraggio della qualità dell'aria in interni.File in questo prodotto:
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