CNR Institutional Research Information System

Messa a punto di una facility per caratterizzazione completa di RF MEMS (cycling, charging, temperature, frequency and time domain)

Marcelli R;
2009
2009
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
RF MEMS
05.19 Progetto
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/183503
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