Sviluppo di una matrice circolare di elettrodi per identificare le instabilità di plasma e per controllarne ampiezza e fase per mezzo di iniezione di onde.
Sistema di elettrodi e relativa elettronica di controllo per stabilizzare il plasma di processo
M Spolaore;E Martines;
2003
Abstract
Sviluppo di una matrice circolare di elettrodi per identificare le instabilità di plasma e per controllarne ampiezza e fase per mezzo di iniezione di onde.File in questo prodotto:
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