Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza costituita da un cristallo di fluoruro di litio, per applicazioni allanalisi dello spessore (decine di nanometri) e della composizione chimica di film sottili
Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza, per applicazioni all analisi dello spessore e della composizione chimica di film sottili
S Stagira;C D'Andrea;G Valentini;P Villoresi;M Nisoli;S De Silvestri
2006
Abstract
Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza costituita da un cristallo di fluoruro di litio, per applicazioni allanalisi dello spessore (decine di nanometri) e della composizione chimica di film sottiliFile in questo prodotto:
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