Realizzazione di transistor prototipi mediante processi termici non convenzionali basati sull uso di laser ad eccimeri. Miglioramento delle prestazioni elettriche del transistor rispetto all uso di processi termici convenzionali.

Privitera V;Fortunato G;La Magna A
2005

2005
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
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