CNR Institutional Research Information System

metodo per realizzare scavi in un substrato di carburo di silicio di un dispositivo a semiconduttore

F Quaranta;
2005
2005
Italiano
5
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
Quaranta, F; Iacobelli, L; Rizzi, L; Caliandro, P; Melone, G
info:eu-repo/semantics/patent
285
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/216692
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