Caratterizzazione morfologica/microstrutturale di substrati di allumina e silicio incisi al laser mediante microscopia elettronica a scansione (SEM). In particolare l'analisi ha lo scopo di valutare l'efficacia della foratura al laser in termini di: 1.Presenza/assenza di micro-cricche intorno al foro; 2.Porzione di materiale deteriorato dal laser; 3.Dimensione del foro risultante.
RT-2014-111 ANALISI SEM CAMPIONI CERAMICI
E Mercadelli
2014
Abstract
Caratterizzazione morfologica/microstrutturale di substrati di allumina e silicio incisi al laser mediante microscopia elettronica a scansione (SEM). In particolare l'analisi ha lo scopo di valutare l'efficacia della foratura al laser in termini di: 1.Presenza/assenza di micro-cricche intorno al foro; 2.Porzione di materiale deteriorato dal laser; 3.Dimensione del foro risultante.File in questo prodotto:
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