Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato "Camera Cluster"
Montagner F;Battiston S;Deambrosis S M;Miorin E;Pagura C
2013
File in questo prodotto:
| File | Dimensione | Formato | |
|---|---|---|---|
|
prod_304411-doc_86869.pdf
non disponibili
Descrizione: Implementazione portacampioni Camera Cluster
Dimensione
4.11 MB
Formato
Adobe PDF
|
4.11 MB | Adobe PDF | Visualizza/Apri Richiedi una copia |
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
