L'obiettivo del progetto è lo sviluppo di un sistema ottico interferometrico per la caratterizzazione di micro dispositivi MEMS (Micro-Electro-MEchanical System) o MOEMS (Micro-Opto-Electro-MEchanical System). In particolare, per assicurare la realizzazione di microdispositivi affidabili e su larga scala, il progetto mira allo sviluppo di un sistema di caratterizzazione in grado di fornire informazioni quantitative su parametri dimensionali e strutturali delle strutture e sul comportamento durante il loro funzionamento.
Sviluppo e realizzazione di un microscopio interferometrico di tipo olografico finalizzato alla caratterizzazione dimensionale e funzionale con elevata accuratezza di micro-dispositivi per l'industria microelettronica ed optoelettronica
G Coppola
2004
Abstract
L'obiettivo del progetto è lo sviluppo di un sistema ottico interferometrico per la caratterizzazione di micro dispositivi MEMS (Micro-Electro-MEchanical System) o MOEMS (Micro-Opto-Electro-MEchanical System). In particolare, per assicurare la realizzazione di microdispositivi affidabili e su larga scala, il progetto mira allo sviluppo di un sistema di caratterizzazione in grado di fornire informazioni quantitative su parametri dimensionali e strutturali delle strutture e sul comportamento durante il loro funzionamento.File in questo prodotto:
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