Il progetto si propone di fornire un contributo concreto all avanzamento della tecnologia nel settore dell integrazione di funzioni optoelettroniche e di sensing in micro-sistemi in silicio e/o con soluzioni ibride integrate di silicio/niobato di litio, garantendo la completa compatibilità con i processi più frequentemente utilizzati nella fabbricazione di circuiti VLSI CMOS.
Circuiti fotonici integrati per le telecomunicazioni ottiche e la sensoristica
G Coppola;M Iodice;
2004
Abstract
Il progetto si propone di fornire un contributo concreto all avanzamento della tecnologia nel settore dell integrazione di funzioni optoelettroniche e di sensing in micro-sistemi in silicio e/o con soluzioni ibride integrate di silicio/niobato di litio, garantendo la completa compatibilità con i processi più frequentemente utilizzati nella fabbricazione di circuiti VLSI CMOS.File in questo prodotto:
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