Interferenza dello spessore del campione nell'analisi SEM-EDS

In questo rapporto tecnico si è voluto indagare se nell'analisi EDS di campioni di spessore basso si potessero avere artefatti dovuti all'interferenza dello strato sottostante il campione (stub oppure l'adesivo al carbonio per fissare il campione allo stub). A tal fine si è proceduto a determinare mediante analisi SEM-EDS la composizione chimica elementare di diversi sali di composizione chimica nota e si è confrontato la quantità di carbonio o alluminio rilevata con quella teorica. Alla luce dei risultati ottenuti si può ragionevolmente supporre che, per campioni di spessore basso (di sicuro al di sotto di 0,27 mm), un fascio elettronico incidente di alta potenza (quale quello impiegato in questo tipo di analisi) riesce a penetrare completamente il campione raggiungendo lo strato sottostante i cui atomi sono eccitati dando origine ad artefatti chimici.