descrizione di un sistema integrato e compatto per la gestione elettronica e automatizzata per la creazione di ambiente in alto vuoto all'interno di una camera di deposizione
Progettazione e realizzazione di un sistema elettronico/elettromeccanico per la gestione automatizzata della sequenza dei cicli nella creazione del vuoto in una macchina per deposizione di films sottili in alto vuoto. Protocollo ISMN-CNR del 18/07/2016
Tiziano Bonfiglioli;Vincenzo Ragona
2016
Abstract
descrizione di un sistema integrato e compatto per la gestione elettronica e automatizzata per la creazione di ambiente in alto vuoto all'interno di una camera di deposizioneFile in questo prodotto:
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