report tecnico sulla progettazione e realizzazione di shutter motorizzati e telecomandati inseriti in un sistema di deposizione films sottili in vuoto
Report sulla modifica degli shutter presenti nella camera di deposizione Kurt J. Lesker ubicata nella glove box all'interno della Cleanroom nel laboratorio 104 ISMN. Protocollo ISMN-CNR 0003520 del 2021
Vincenzo Ragona;Emilia Benvenuti;Federico Prescimone;Tiziano Bonfiglioli;
2021
Abstract
report tecnico sulla progettazione e realizzazione di shutter motorizzati e telecomandati inseriti in un sistema di deposizione films sottili in vuotoFile in questo prodotto:
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