Il lavoro di ideazione e progettazione presentato in questa relazione nasce dall'esigenza di sostituire una camera da vuoto dotata di sistema per deposizione di films sottili (d'ora in poi "evaporatore") di vecchia concezione presente nel laboratorio n.107 piano terra dell'Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati di Bologna (ISMN-Bologna) con un'altra apparecchiatura (sempre di tipo "evaporatore") che assolva alle stesse funzioni ma con caratteristiche più complete e moderne.

Rapporto tecnico su ideazione e progettazione di un sistema per la deposizione in alto vuoto di films sottili organici e metallici

Ragona Vincenzo;Federico Bona;Federico Prescimone
2022

Abstract

Il lavoro di ideazione e progettazione presentato in questa relazione nasce dall'esigenza di sostituire una camera da vuoto dotata di sistema per deposizione di films sottili (d'ora in poi "evaporatore") di vecchia concezione presente nel laboratorio n.107 piano terra dell'Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati di Bologna (ISMN-Bologna) con un'altra apparecchiatura (sempre di tipo "evaporatore") che assolva alle stesse funzioni ma con caratteristiche più complete e moderne.
2022
Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati - ISMN
camera di crescita
evaporatore
uhv
film sottili
thin films
organici
metalli
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/460634
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