Rapporto tecnico sul sistema di utilizzo e controllo per la camera di metallizzazione a due sorgenti raffreddate a liquido Viene descritto in modo accurato il sistema si controllo della camera da alto vuoto per la metallizzazione di dispositivi montati su portacampioni riscaldati girevoli di cui al rapporto tecnico CNR prot 02/04/25 del 30/04/2002 ) e la gestione delle sorgenti raffreddate ad acqua per metalli di cui al rapporto tecnico CNR prot. 05/03/16 del 23/03/200
Rapporto tecnico CNR 2013 0002583-2020cnr metallization chamber
murgia mauro
2013
Abstract
Rapporto tecnico sul sistema di utilizzo e controllo per la camera di metallizzazione a due sorgenti raffreddate a liquido Viene descritto in modo accurato il sistema si controllo della camera da alto vuoto per la metallizzazione di dispositivi montati su portacampioni riscaldati girevoli di cui al rapporto tecnico CNR prot 02/04/25 del 30/04/2002 ) e la gestione delle sorgenti raffreddate ad acqua per metalli di cui al rapporto tecnico CNR prot. 05/03/16 del 23/03/200File in questo prodotto:
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