GALIZIA, BRUNO
GALIZIA, BRUNO
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Structural and electrical correlation in aluminum nitride thin films grown by plasma enhanced atomic layer deposition as interface insulating layers on silicon carbide (4H-SiC)
2024 Galizia, Bruno; Fiorenza, Patrick; Bongiorno, Corrado; Pécz, Béla; Fogarassy, Zsolt; Schiliro', Emanuela; Giannazzo, Filippo; Roccaforte, Fabrizio; Lo Nigro, Raffaella
Towards aluminum oxide/aluminum nitride insulating stacks on 4H–SiC by atomic layer deposition
2024 Galizia, Bruno; Fiorenza, Patrick; Schiliro', Emanuela; Pecz, Bela; Foragassy, Zsolt; Greco, Giuseppe; Saggio, Mario; Cascino, Salvatore; Lo Nigro, Raffaella; Roccaforte, Fabrizio
Al2O3 Layers Grown by Atomic Layer Deposition as Gate Insulator in 3C-SiC MOS Devices
2023 Schiliro, Emanuela; Fiorenza, Patrick; Lo Nigro, Raffaella; Galizia, Bruno; Greco, Giuseppe; Di Franco, Salvatore; Bongiorno, Corrado; La Via, Francesco; Giannazzo, Filippo; Roccaforte, Fabrizio
| Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
|---|---|---|---|
| Structural and electrical correlation in aluminum nitride thin films grown by plasma enhanced atomic layer deposition as interface insulating layers on silicon carbide (4H-SiC) | 1-gen-2024 | Galizia, Bruno; Fiorenza, Patrick; Bongiorno, Corrado; Pécz, Béla; Fogarassy, Zsolt; Schiliro', Emanuela; Giannazzo, Filippo; Roccaforte, Fabrizio; Lo Nigro, Raffaella | |
| Towards aluminum oxide/aluminum nitride insulating stacks on 4H–SiC by atomic layer deposition | 1-gen-2024 | Galizia, Bruno; Fiorenza, Patrick; Schiliro', Emanuela; Pecz, Bela; Foragassy, Zsolt; Greco, Giuseppe; Saggio, Mario; Cascino, Salvatore; Lo Nigro, Raffaella; Roccaforte, Fabrizio | |
| Al2O3 Layers Grown by Atomic Layer Deposition as Gate Insulator in 3C-SiC MOS Devices | 1-gen-2023 | Schiliro, Emanuela; Fiorenza, Patrick; Lo Nigro, Raffaella; Galizia, Bruno; Greco, Giuseppe; Di Franco, Salvatore; Bongiorno, Corrado; La Via, Francesco; Giannazzo, Filippo; Roccaforte, Fabrizio |