CNR Institutional Research Information System

Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure

G Cicala;G Bruno;
2001
2001
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
509
543
35
0-12-513911-X
Handbook of surfaces and interfaces of Materials edited by Hari Singh Nalwa (Academic Press San Diego, 2001)
3
276
Cicala, G; Bruno, G; Capezzuto, P
none
info:eu-repo/semantics/book
03 Libro::03.01 Monografia o trattato scientifico
03.01 Monografia o trattato scientifico
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/10466
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