CNR Institutional Research Information System

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Optical and structural properties of Silicon-like films prepared by PECVD

Cremona A;Laguardia L;Vassallo E;
2004

Abstract

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2004
Istituto di fisica del plasma - IFP - Sede Milano
Inglese
16th International Vacuum Congress, 12th International Conference on Solid Surfaces, 8th Int. Conference on Nanometer Scale Science and Technology and 17th Vacuum National Symposium
2004
Venice, Italy
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none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Cremona A.; Laguardia L.; Vassallo E.; Ambrosone G.; Coscia U.; Orsini F.;Poletti G.
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
3
04.03 Poster in Atti di convegno
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