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Effect of the titanium interlayer on the physical structure and adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate

R Caniello;E Vassallo;A Cremona;L Laguardia;D Dellasega;M Canetti;E Miorin;G Grosso
2012

Abstract

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2012
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
Istituto di fisica del plasma - IFP - Sede Milano
coating
plasma physics
08.04 Rapporto tecnico
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/120452
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