CNR Institutional Research Information System

Diffusion, clustering and trapping of point defects in ion implanted silicon: atomistic simulations and experiments

S Libertino;
1997
1997
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Spagnolo
R. Alcubilla and J. Pons
Actas de la 1ª Conferencia de Dispositivos Electronicos
1ª Conferencia de Dispositivos Electronicos
445
450
6
8476536259
Sì, ma tipo non specificato
20-21 February, 1997
Barcellona (Spagna)
6
none
Enriquez, L; Jaraiz, M; Hernandez, J; Barbolla, J; Libertino, S; Coffa, S
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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