CNR Institutional Research Information System

2-DIMENSIONAL PROFILING OF DOPED LAYERS BY SPREADING RESISTANCE MEASUREMENTS AND ATOMIC-FORCE MICROSCOPY ON CHEMICAL ETCHED SURFACES

PRIVITERA V;
1993
1993
Inglese
Borel, J; Gentil, P; Noblanc, JP; Nouailhat, A; Verdone, M
ESSDERC '93 - PROCEEDINGS OF THE 23RD EUROPEAN SOLID-STATE DEVICE RESEARCH CONFERENCE
23rd European Solid State Device Research Conference (ESSDERC 93)
539
542
2-86332-135-8
Sì, ma tipo non specificato
SEP 13-16, 1993
GRENOBLE, FRANCE
WOS:A1993BB18A00107
1
none
PRIVITERA, V; RAINERI, V; VANDERVORST, W; CLARYSSE, T; HELLEMANS, L; SNAUWAERT, J
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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