CNR Institutional Research Information System

Digital holography: a non-destructive technique for inspection of MEMS

Coppola G;Grilli S;Finizio A
2009
2009
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto Nazionale di Ottica - INO
Inglese
Giancarlo C. Righini; Antonella Tajani ; Antonelli Cutolo
An introduction to optoelectronic sensors
281
302
http://www.worldscientific.com/worldscibooks/10.1142/6987
World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd.
Singapore
SINGAPORE
digital holography
isbn 109812834125
2-s2.0-85116572586
5
02 Contributo in Volume::02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
268
none
Coppola G. ; Grilli S. ; Ferraro P. , De Nicola S. ; Finizio A.
info:eu-repo/semantics/bookPart
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