CNR Institutional Research Information System

Correlation between an optical plasma diagnostic (OES) and surface plasma diagnostics (AFM and FTIR), to monitoring of thin films growth

E Vassallo;
2002
2002
Inglese
XVI° Congresso Nazionale sulla Scienza e Tecnologia del Vuoto
88-7794-370-X
7-9 Ottobre 2002
Catania
1
none
E. Vassallo; M. Biasiolli; F. Orsini; G. Poletti
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/137304
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