CNR Institutional Research Information System

Conduction and Charging Mechanisms in Ta2O5 Thin Films for Application in Capacitive RF MEMS Switches

Persano A;Quaranta F;Martucci MC;Taurino A;Siciliano P;Cola A
2010
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
MEMSWAVE & MEMS IN ITALY
28
29
Sì, ma tipo non specificato
30 June-1 July 2010
Otranto
7
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Persano, A; Quaranta, F; Martucci, Mc; Cretì, P; Taurino, A; Siciliano, P; Cola, A
04.02 Abstract in Atti di convegno
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