CNR Institutional Research Information System

Influence of lattice parameters on the dielectric constant of tetragonal ZrO2 and La-doped ZrO2 crystals in thin films deposited by atomic layer deposition on Ge(001)

2011
2011
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
WOS:000298006100059
99
23
232907-1
232907-3
3
7
info:eu-repo/semantics/article
262
C Wiemer C, Wiemer; A Debernardi A, Debernardi; A Lamperti A, Lamperti; A Molle A, Molle; O Salicio O, Salicio; L Lamagna L, Lamagna; M Fanciulli M, F...espandi
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