CNR Institutional Research Information System

Low pressure chemical vapor deposition of different silicon nanostructures

Ferrari M;
2006
2006
Istituto di Fisica Applicata - IFAC
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
Inglese
Petar Biljanovic and Karoli Skala
Proceedings 29th International Convention MIPRO on Microelectronics. Electronics, and Electronic Technologies, Hypermedia and Grid systems
27
32
6
953-233-018-6
No
May 22-26 2006
Opatija - Croatia
CVD
nanostructures
silicon
2
none
Ivanda M.; Gebavi H.; Ristic D.; Furic K.; Music S.; Ristic M.; Zonja S.; Biljanovic P.; Gamulin O.; Balarin M.; Montagna M.; Ferrari M.; Righini G.C....espandi
273
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04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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