Advanced real time metrology of AlGaN/GaN and InGaN/GaN epitaxy

M Losurdo;G V Bianco;M M Giangregorio;G Bruno
2010

2010
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
75
124
129
4
info:eu-repo/semantics/article
262
T.H. Kim; S. Choi; A. S. Brown; M. Losurdo; G. V. Bianco; M. M. Giangregorio; G. Bruno
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
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