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Morphology of MEMS structures subjected to static deformations and thermal loading are investigated by digital microscope holography

Evaluation of residual stress in MEMS structures by means of digital holography

De Nicola S;Coppola G;Finizio A;Iodice M;Pierattini G
2003

Abstract

Morphology of MEMS structures subjected to static deformations and thermal loading are investigated by digital microscope holography
2003
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
4933
226
231
2-s2.0-0242469118
digital holography
stress
mems
optoelectronics
3
info:eu-repo/semantics/article
262
De Nicola S; Coppola G; Ferraro P; Finizio A; Grilli S; Iodice M; Magro C; Pierattini G
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01.01 Articolo in rivista
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