CNR Institutional Research Information System

Free standing submicrometric silicon wires fabricated by means of micromachining

M Piotto
2002
2002
Istituto di Elettronica e di Ingegneria dell'Informazione e delle Telecomunicazioni - IEIIT
Inglese
Sensors and Microsystems, Proceedings of the 6th Italian Conference on Sensors and Microsystems
6th Italian Conference on Sensors and Microsystems
260
264
981-02-4895-4
World Scientific
Singapore
SINGAPORE
Sì, ma tipo non specificato
5-7 February, 2001
Pisa, Italy
3
none
Barillaro, G; Bruschi, P; Piotto, M
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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